上海碧環淨化工程有限（xiàn）公司 為潔淨而（ér）來

     潔（jié）淨室的溫濕度主要是根據客戶的加工工藝要求來確定，在滿足加工工藝的條件下，應該考慮人的舒適感。隨著（zhe）空氣潔淨度要求的（de）提高，工藝對溫濕度的要求也（yě）越來越高，必須達（dá）到一定的溫濕度等級。例如在大規模集成電路生（shēng）產的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與矽（guī）片的熱膨脹（zhàng）係數的差要求越來越（yuè）小。直徑100um的矽片，溫（wēn）度上升（shēng）1度，就引起了0.24um線（xiàn）性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以後，對產品將有汙染，特別是怕（pà）鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。

     濕度過高產生的問題更多。相對濕度（dù）超過55%時，冷卻水管壁（bì）上會結露，如（rú）果發生在精密裝置或電路（lù）中，就會引起各種（zhǒng）事故（gù）。相對濕度在50%時易生鏽。淨（jìng）化工程要控製溫（wēn）濕度具體有什麽措施（shī）？

然而對於大部分潔淨空間，為了防止外界汙染侵入，需要保持內部的壓力（靜壓）高於外部的壓力（lì）（靜壓）。壓力差的維持（chí）一般應符合以下原則：

1.潔淨度級別高的空間的壓（yā）力要高於相鄰的潔淨度級別低的空間的壓力。

2.相通潔淨室（shì）之間的門要開向潔淨度級別（bié）高的（de）房間（jiān）。

3.潔（jié）淨空間的壓力要高（gāo）於非潔淨空間的壓力。

壓力差的維持依靠新風量，這個新風（fēng）量要能補（bǔ）償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風量通過潔淨室的各種（zhǒng）縫隙時的阻（zǔ）力。